非接触ポータブル粗さ測定機
（Micro Finish Topographer : MFT）
Optical Perspectives Group社製の軽量・コンパクトな、非接触ポータブル粗さ測定機（MFT）です。
特 徴
① 大きいものも、小さいものも。これ一台で粗さ測定OK！
② 加工現場で、手軽に、素早く測定できる
③ コストパフォーマンス抜群！
① 大きいものも、小さいものも。これ一台で粗さ測定OK！
・「大型」パーツを測るときは「下向き」に、
「小型」パーツを測るときは「上向き」に。
（大型パーツの粗さを測るとき）
MFTを被測定物に向け、下向きに使用します
使用例：チリ天文台直径7メートルのミラー測定
（アリゾナ大学にて）
（小型パーツの粗さを測るとき）
MFTのステージ上に被測定物を置き、上向きに使用します
使用例：小型パーツの測定
② 加工現場で、手軽に、素早く測定できる
・コンパクトに収納でき、手軽に現場に可搬
・ダイヤモンドターニングマシン等の搭載可能
専用ケースにコンパクトに収納
加工機にも搭載可能
③ コストパフォーマンス抜群！
・「本体＋PC＋ソフトウェア」ですぐに使える
本体＋PCのシンプルな構成。
Apre Instruments社製ソフトウェア「REVEAL」付属。インターネット
ブラウザのようなユーザーインター
フェイスで操作楽々。
「REVEAL」はApre Instruments社の登録商標です。
MFT測定機仕様
| 装置の特徴 | ポータブル、高解像度ビデオ干渉による表面粗さ計 |
|---|---|
| 方式 | フェイズ測定干渉計 |
| レンズ | 10倍ミロー型（標準）、20倍ミロー型、2.5倍マイケルソン型、5倍マイケルソン型 |
| 動作距離 | 2.5倍＝10.3mm、5倍：9.3mm, 10倍：7.4mm, 20倍、4.7mm |
| 高さ範囲 | ±６ミクロン |
| RMS再現性 | 0.05 nm |
| RMS 精度 | 0.1nm |
| 被験物反射率 | 4-98％ |
| ビデオカメラ | FLUIR社製1440ｘ1080ピクセル、1/3フォーマット、8ビットモノ、30fps/USB接続 |
| 光源 | 内部光源：全視野LED、ソフトウエア制御 |
| コンピュータ | 64ビット、WINDOWS10 Pro |
| 接続 | USB3 |
| ソフトウエア | Apre社、REVEAL 位相シフトと解析ソフトウエア（オプションのフューリエ付き解析付き） |
| 重量 | PSM本体：0.6kg、下向き構成：1.6kg、上向き構成：3.2kg |
| サイズ | 189ｘ107ｘ31 （本体と干渉レンズ）下の図を参照の事 |
サイズ
|
|
|
ミロー型 （10倍、20倍） |
マイケルソン型 （2.5倍、5倍） |
（参考） 上向きミロー型 （10倍） |