発表論文・展示会
報告書
光技術コンタクト2017年7月号-SuperFIZ+BE500
<概要>
本干渉計の性能・特徴をまとめると,①最速シャッタースピードは0.369μs
②撮影速度は,7,000fps(1024×1024 pixel)最速1,550,000 fps(64×8 pixel)
③記録枚数21,841 枚(1024×1024 pixel) ④干渉縞から波面への強力なアンラップ機能
⑤被写体反射率0.01%以 ⑥5 m遠方の物体も測定可能である。
これにより,本装置の適用範囲が以下のように広がる。①除振台が不要となり,事務机上に設置
②高速に変化する流体・物質の動的波面(反射・透過)の測定 ③光学面の動的振動モードの測定
④光学系の動的透過波面の測定 ⑤従来のシュリーレンに比べ,飛躍的に情報量の多い
デジタルシュリーレン法による測定 ⑥反射防止コートをした低反射率光学部材の表面形状測定
⑦真空チャンバー内のプロセス表面状態のリアルタイム測定などである。
また,アプリケーション分野としては,精密光学・機械,光学 素子・材料,流体,バイオ,半導体、宇宙工学
などが考えられる。以上,世界最速のULTRA FAST干渉計“SuperFIZ”を有効に活用すれば,世界に先駆けた
技術開発に役に立てられる。今後の光学測定に於ける偏光技術の応用は,『メイド イン ジャパン』として、
新たな光学事業分野を開拓するものと信じている。
<概要>
1970年代から1980年代にかけ、レーザ光を利用した干渉計が用いられるようになった。1974年にはIBMから
Brunningが発表され、コンピュータの高精度化に伴い、1990年代からは、高精度光学部品の計測の基準と
なっている。しかし、この位相シフト法では、測定時間が必要であったり、被検物が静止している必要が
あるなど、課題点も多い。そこで本報告書では、これらの問題点の解決法の一つである、
瞬間位相シフト干渉法について紹介する。
出展展示会
【今後の出展予定】
【出展経歴】
■レンズ設計・製造展(2007~2015)
■SPIE PhotonicsWest(2008~2015)
■SEMICON JAPAN 2007(2007.12.5(水)~7(金))
■Nature Photonics Technology Conference in Tokyo 2007(2007.10.23(火)~25(木))
■Inter Opto’06 (2006)
■Inter Opto’05 (2005)