ビームエクスパンダ
概要
平行光ビームを入射し平行光ビームを出射するビームエクスパンダにおいて、入射した平行光ビームの直径に対する出射した平行光ビームの直径の比率であるビーム径拡張率を比較的大きくすることができ、しかも、3次と5次の球面収差を制御でき、これによって、ビームエクスパンダの全長を比較的短くすることができるビームエクスパンダを提供する。
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平行光ビームを入射し平行光ビームを出射するビームエクスパンダにおいて、入射した平行光ビームの直径に対する出射した平行光ビームの直径の比率であるビーム径拡張率を比較的大きくすることができ、しかも、3次と5次の球面収差を制御でき、これによって、ビームエクスパンダの全長を比較的短くすることができるビームエクスパンダを提供する。