5mの距離からφ500mmを測れる干渉計【SuperFIZ+BE500】
ポイント
別定盤でもOK |
5mの距離でも測定可能 |
φ500mmまで |
<長距離干渉計測実験(海外メーカー製との比較)>
【前提】
0.8m以上は別の机を用いて計測【結論】
2.5m、5mの距離では、有名海外メーカー製干渉計で計測できなかったが、当社「SuperFIZ」では計測できた。
(室温を一定にし、空気の擾乱を抑えることにより、5m距離でも更に差は小さくなると推定)
更に、5mの距離で測れる「SuperFIZ」に、「BE500」を組み合わせることで、
5mの距離でφ500mmまでの範囲を干渉計測できます
SuperFIZ 仕様
DUT diametter | φ102mm |
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Resolution | XY axis(surface) : 200um Z axis(height) : 5nm |
Laser wavelength | 532nm |
Focus range | 0~5m |
Finest shutter speed(min.) | 1/2,713,000s (0.369us) |
Max france rate | 1,550,000 fps (64×8pxl) 7,000 fps (1024×1024 pxl) |
Accuracy | λ/100 |
RMS repeatability | λ/1000 |
MAX fringe number | 250 fringes (1024×1024 pxl) |
DUT reflection rate | 0.01~100% |
Dimension(WDH) | 490×875×223mm |
BE500 仕様
倍率 | ||
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使用波長 | ||
入射ビーム口径 | ||
出射ビーム口径 | ||
光軸高さ | ||
全長 | (省スペース) | |
高さ | (省スペース) | |
幅 | (省スペース) | |
重量 |
【用途】
・真空チャンバー内のプロセス表面状態のリアルタイム測定 等
精密光学・機械、光学素子材料、バイオ、半導体、宇宙光学などへの活用が期待される