小型位相シフトレーザ干渉計
| 製品名 | 小型位相シフトレーザ干渉計 |
|---|---|
| 干渉方式 | トワイマングリーン型 位相シフト干渉計 |
| 光源 | 半導体レーザ (410,635,670,780nm等) |
| 有効口径 | φ1mm～φ6mm |
| 繰り返し精度 | λ/100以上 |
| 本体サイズ | (H)170×(W)180×(L)250mm 約5kg |
| 使用用途 | ・小口径光学部品の透過波面精度や被検物の面形状（凹凸）の測定 ・DVD・CDなどのピックアップレンズの性能評価 ・位相板・光学窓・ミラー等の評価 |
| 特徴 | ・製造現場での検査に最適 ・ピエゾ方式の位相シフト機構を内蔵 ・白色干渉計の製作が可能 |
| 干渉縞解析ソフト | IntelliWave KL2 Version. |