S-Series:ハイパフォーマンス干渉計
APRE社独自のSCI技術により、
高速、高解像度
前処理(ジェル、ワセリン)不要
均質性(ホモジニティ) |
プリズム |
50μm厚 |
■ Sシリーズ高分解能 - 最高性能の干渉計
■ Sシリーズ標準解像度 - 高性能干渉計
■ REVEAL(TM)OEMソフトウェア:干渉縞解析ソフト
・測定からカスタムレポートまで10秒で ・Windows10 64-bit OS(7は、オプション対応) ・dat形式(Zygo)、hdf5形式(4D)ファイルに互換 |
・OEM干渉計との接続が可能 ・ウェブブラウザ調のインターフェイス画面 ・解析ツリーで計測のトレーサビリティを確認可能 |
<機能、および性能>
アプリケーション |
<BASIC (標準)> ・Form ・Radius of Curvature <フューリエ (オプション)> ・MTF, PSF, PSD <ショップテスト(オプション)> ・Wedge ・PHom ・Prism ・Corner Cube |
フィルタ |
・Masking ・Auto Aperture ・Reference subtract ・Box ・Erosion (inside/out) ・Median ・Individual Zernike ・Spike ・Affine Transforms |
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解析 |
・測定モード ・Vibration Tolerant PSI ・Wavelength Shifting ・Carrier Fringe ・SCI ・Zernike ・3D View ・Sections ・PVr ・Islands ・ISO10110-14 |
結果 |
・ISO & Seidel ・PV, RMS ・PVr ・Tilt ・Power ・Astigmatism ・Coma ・SA3 |
Ⅱ.SCI:Spectrally Controlled Interferometry
波長コントロール干渉計測法
■ The Problem:マルチサーフェス干渉
多重反射での測定問題点
・正確で反復可能な測定を妨げる・プラスチック平行光学系
・薄いメニスカスレンズ
一般的な簡易解決方法
・青テープ・屈折率のマッチしたジェル
・ワセリン
・一時的なコーティング
なぜ干渉縞はこんなにも複雑なんだろうかと感じませんか?
■ 3面空洞からのSCIデータ(TF - フロント - バック)
■ SCI Attributes
■ SCI Thin Plate Measurement Results
■ SCI のベネフィット(利点)
・多重反射を排除します。
・簡単なアライメント コヒーレント、インコヒーレント計測を切り替えられます。
・測定ごとの位置再調整が必要ありません。
・レーザースキャニングも不要です。
・計測された面のリアルタイム状態表示が可能です。
・メカニカルな駆動を必要としない位相シフト
・フィゾーキャビティーに制限がありません。
・縞の位置ズレは1カメラフレーム以内(要確認)
・コモンパスなフィゾー式設計