非接触検査における大面積の必要性は?

検査対象物が大きかったり(検査対象の大型化)するためには、光学部分の大口径化が必要です。そのためには大口径の干渉計を購入するか、ビームエキスパンダーのような大口径化するためのオプション光学系が必要です。

ビームエキスパンダー





5mの距離から500mmφを測れる干渉計【SuperFIZ+BE500】


 

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